一、產品介紹

SID4 UV HR 波前傳感器基于 Phasics 技術，在 190 nm 至 400 nm 的紫外光譜范圍內提供高分辨率(512 x 512 個測量點)和高的靈敏度(2 nm RMS)。因此，SID4 UV HR 非常適合光學元件特性分析(用于光刻、半導體……)和表面檢查(鏡頭和晶圓)。

● 靈敏度低至 190 nm

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 非常高的分辨率(512 x 512采樣)

二、產品參數

三、Phasics 波前傳感器優點

1、高分辨率

干涉取樣

最多 850 x 720 個波前測量點

分辨率比基于 Shack-Hartmann 的波前傳感器高 4 倍

2、準確性

得益于嚴格控制的車間校準，波前絕對精度達到 10 nm RMS(lambda/100 @ 1 微米)

波前靈敏度低至 1 nm RMS(lambda/1000 @ 1 微米)

3、消色差

波長波前測量 UV 至 LWIR

可用的波前傳感器：UV、VISIBLE、NIR、SWIR、MWIR 和 LWIR

改變波長時無需額外校準

四、為什么要使用波前傳感器?

波前傳感器在各個行業中都有廣泛的應用。它們通常用于光學測試和對準，包括測量表面輪廓或反射波前誤差、評估透射波前誤差和評估調制傳遞函數等任務。波前傳感器還在自適應光學的激光和光學系統鑒定和控制中發揮著至關重要的作用。此外，它們還用于材料檢測和定量相位成像。幾乎所有與光子學相關的行業都可以從波前傳感器的使用中受益。

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm